Modellierung und Herstellung eines akustischen Wandlers auf Waferniveau unter Einsatz von Polymermembranen

Autor: Matthias Kaiser

ISBN: 978-3-95900-640-8

Dissertation, Leibniz Universität Hannover, 2021

Herausgeber der Reihe: Lutz Rissing

Band-Nr.: impt 02/2021

Umfang: 137 Seiten, 121 Abbildungen

Schlagworte: Dünnfilmtechnik, Polymere, akustischer Wandler, Mikrofon, kapazitiver Wandler, Polyimidmembran

Kurzfassung: Die Fortschritte in der Entwicklung von medialen Endgeräten sind ein nicht zu übersehender Motor für die Entwicklung neuer Technologien und Methoden zur Herstellung von Aktoren und Sensoren. Hierzu zählen nicht nur unter anderem die Sensorik zur Festlegung der Position und Lage des Endgerätes, sondern auch akustische Wandler, welche sowohl digitale Signale in Schallwellen aber auch demgegenüber Schallwellen in ein elektrisches Signal umwandeln. Im Bereich der letztgenannten Wandlungsart gibt es bereits durchaus etablierte Produkte, die auf Grundlage des elektrostatischen Prinzips agieren. Hier sind vor allem die Systeme mit Elektret zu nennen, aber auch Systeme in Form eines kapazitiven Wandlers sind hier vertreten.
Diese besitzen in den häufigsten Fällen eine schwingende Membran aus einer Siliziumverbindung. Eine Alternative hierzu kann eine Membran aus einem Polymer sein, welche andere Eigenschaften mitbringt und in der Verarbeitung weitere Bereiche öffnet, wie beispielsweise die Verwendung auf einer technischen Oberfläche.